Æ÷ÀåÀÌ ½ÇÁ¦·Î »ç¿ëµÇ¾î, ±× ±â´ÉÀ» ¹ßÈÖÇÏ°í ³ª¸é »ç¸íÀº ³¡³ªÁö¸¸ Æ÷ÀåÀÌ »ç¿ëµÈ ´Ü°è´Â ¿©·¯ °¡Áö ¸ñÀû¿¡ ºÎÇյǾî¾ß¸¸ ÇÑ´Ù. °ú°ÅÀÇ Æ÷ÀåÀº Àç¹°ÀÇ »ý»ê, À¯Åë, ÀúÀå, ºÐ¹è¿Í °°Àº °¢ ´Ü°è¿¡ ¹ÐÁ¢ÇÏ°Ô °ü¿©ÇÏ¿© Àç¹°ÀÇ Ç°Áúº¸Àü, ǰÁúº¸È£¸¦ À§ÇÏ¿© »ç¿ëµÇ¾î ¿Ô´Ù. ±×·¯³ª ÃÖ±Ù ÀÚÀ¯È°¡ ½ÃÀå°æÁ¦¿¡ »ó¡ÀÌ µÇ´Â °Íó·³ ¿ì¸® »ýȰÀÇ ±â¹ÝÀÎ »çȸ, °æÁ¦ÀÇ Ä¿´Ù¶õ º¯Çõ¿¡ ¼ö¹ÝÇÏ¿© Æ÷ÀåÀÌ Ãß±¸ÇÏ´Â ¸ñÀûµµ Å©°Ô È®´ëµÇ¾ú´Ù.
ÀÌ¿Í °°ÀÌ ÆÇ¸Å¿¡ °üÇÑ ±â´ÉÀÌ ÇöÀúÇÏ°Ô Áõ´ëµÇ¾î ¿Ô´Ù°í ÇÏ¿©µµ ±ä±Þ½Ã ½Ä·®ºñÃà, ±ä±Þ ¹è¼Û µî, Æ÷Àå º»·¡ÀÇ ±â´ÉÀ» °æ½ÃÇÏ¿©¼´Â ¾ÈµÈ´Ù. ƯÈ÷ ±Ù´ë»ýȰÀÌ Æ÷ÀåÀ» À¯È¿ÇÏ°Ô ÀÌ¿ëÇÔÀ¸·Î¼ ¼º ¸³µÈ´Ù´Â °Íµµ Àؾ ¾ÈµÉ °ÍÀÌ´Ù. Æ÷ÀåÀÌ ¸»¾ø´Â ¼¼ÀÏÁî¸ÇÀ̶ó°í ºÒ¸®¿ü´ø ½Ã´ëµµ ÀÖ¾úÁö¸¸, Çö´ë´Â Æ÷ÀåÀ» À¯È¿ÇÏ°Ô È°¿ëÇÏÁö ¾Ê°í¼´Â ¾î¶°ÇÑ ¸¶ÄÉÆÃµµ ÀÖÀ» ¼ö ¾ø´Â ½Ã´ëÀÌ´Ù. °¡½º Â÷´Ü¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÑ Æ÷ÀåÀç·á¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¿ë±â ³»¿¡ Á¸ÀçÇÏ´Â °ø±â¸¦ Á¦°ÅÇÏ°í Æ÷ÀåÇÔÀ¸·Î½á, ¿ÜºÎ·ÎºÎÅÍÀÇ ±âüÀÇ À¯ÀÔÀ» ¸·¾Æ °ø±â Áß¿¡ ÀÖ´Â »ê¼Ò·Î ÀÎÇÑ »êÆÐ ¹× È£±â¼º ¹Ì»ý¹°ÀÇ »ýÀåÀ¸·Î ÀÎÇÑ ½ÄǰÀÇ º¯ÆÐ µîÀ» ¹æÁöÇÏ´Â Æ÷Àå±â¹ýÀ» Áø°øÆ÷ÀåÀ̶ó°í ÇÑ´Ù. ½ÄǰÆ÷Àå ºÐ¾ß¿¡¼ ¸»ÇÏ´Â Áø°øÆ÷ÀåÀº Æ÷Àå¹° ³»ºÎÀÇ °ø±â¸¦ Àü·® ¹èÃâ½ÃŰ´Â °ÍÀÌ ¹Ù¶÷Á÷ÇÏÁö¸¸ Çö½ÇÀûÀ¸·Î´Â ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù. ÇöÀç ½Äǰ¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â Áø°øÆ÷Àå±âÀÇ ³»ºÎÀÇ °ø±â¾Ð·ÂÀº ´ë°³ 5¢¦10Torr(1Torr´Â Ç¥ÁØ´ë±â¾ÐÀÇ 1/760) Á¤µµÀÌ´Ù.
Æ÷Àå¹° ³»ºÎÀÇ °ø±â¸¦ ¹èÃâ½ÃŰ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº °ÍÀÌ ÀÖ´Ù.
1) °³¿ä
À¯¿¬ÇÑ ÇÃ¶ó½ºÆ½Çʸ§¿¡ ¹°°ÇÀ» ½Î°í ³»ºÎ¸¦ Áø°øÀ¸·Î Å»±â(÷Ѩ)ÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ Çʸ§ÀÇ µÑ·¹¸¦ ¿ëÂø¹ÐºÀ(éÁó·ÚËÜæ) ÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
³»ºÎÀÇ °ø±â(»ê¼Òµî)°¡ Á¦°ÅµÇ¾úÀ¸¹Ç·Î ¹Ì»ý¹°¿¡ ÀÇÇÑ ºÎÆÐ, ±Ý¼Ó ºÎǰÀÇ ³ì ¹× º¯ÁúÀÇ ¹ß»ýÀÌ °¢°¢ ¹æÁöµÈ´Ù.
2) ³»¿ë
Áø°øÆ÷ÀåÀº °ø±â¿ÍÀÇ Á¢ÃËÀ» Â÷´Ü½ÃŰ°í ¿ÜºÎÀÇ °¢Á¾¿À¿° ¿ä¼Ò·ÎºÎÅÍ ³»¿ë¹°ÀÌ ¼Õ»ó µÇ´Â °ÍÀ» ¸·¾Æ ½ÄǰÀÇ À§»ýÀû º¸°ü ¹× ½Å¼±µµ¸¦ Àå±â°£ À¯Áö ½ÃÄÑ ÁÖ¸ç ±Ý¼Ó ¹× ¹ÝµµÃ¼ ÀÇ »êÈ ¹× ÆÄƼŬ ¿À¿°À» Â÷´ÜÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ÈÇÐ ¹× ÀÇ·á Á¦Ç°Àº ÈÇÐÀû ¹ÝÀÀÀ» ¾ïÁ¦ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
3) Æ÷ÀåÀÇ ¸ñÀû
Æ÷Àå¸ñÀûÀÇ È®´ë´Â °ð Æ÷Àå±â´ÉÀÇ È®´ë¸¦ °¡Á®¿À°Ô µÇ¾ú´Âµ¥ °ú°Å º¸È£¼º, ÆíÀǼº, ÆÇÃ˼ºÀÇ ±â´É À̿ܿ¡ ȯ°æÄ£È¼º, ¹°·ùºñ Àý°¨¼º µîÀÇ ±â´ÉÀÌ Ãß°¡µÇ¾ú´Ù. Çö´ë »çȸ¿¡¼´Â ´ë·® ¼ö¼ÛÀ» À§ÇÑ Æ÷Àå, ÆÇ¸ÅÀü·«À¸·Î¼ Æ÷Àå, Áï ¸¶ÄÉÆÃÀ» À§ÇÑ Æ÷Àå µî ³»¿ë »óǰÀÇ ´Ù¾çÈ Ãß±¸·Î ½ÃÀå¿¡ ´ëÀÀÇÏ°Ô µÈ´Ù. ±×·¡¼ Æ÷ÀåÀÇ ±â´ÉÀÌ Àç·¡ÀÇ Æ÷Àå ±â´ÉÀΠǰÁúº¸Àü, ǰÁúº¸È£ À̿ܿ¡ »õ·Î ºÎ°¡µÈ ±â´É, Áï Æ÷Àå¿¡ À§Å¹µÈ ±â´ÉÀ¸·Î Æ÷ÀåÀÇ Æí¸®¼º, Ç¥½Ãµî°ú °ü·ÃµÈ Á¤º¸Àü´Þ ±â´É, ¸¶ÄÉÆÃ¿¡ °ü°èµÈ ÆÇ¸ÅÃËÁø ±â´Éµµ »õ·ÎÀÌ ºÎ°¡µÇ¾ú´Ù. ±×¸®°í ±Ù´ë Æ÷ÀåÀº À¯Åë ÇÕ¸®È¿¡µµ ±íÀÌ °ü¿©ÇÏ¿© ³ÐÀº Áö¿ª¿¡ °ª½Ñ »óǰÀ» °ø±ÞÇÏ°Ô Çϰí, Áö¿ª »óǰÀ» ±¤¿ª »óǰÈÇÏ´Â ±â´Éµµ ¹«½ÃÇÒ ¼ö ¾ø´Ù.
4) Áø°ø »óÅ·Π¾ò¾îÁö´Â È¿°ú
´ë·«ÀûÀ¸·Î º¸¸é Ÿ±âüÀÇ ¿µÇâ¿¡ ÀÇÇÑ ºÎ½Ä »êÈ µîÀ» ¸·¾ÆÁÖ°í, ¹°ÁúÀÇ ²÷´Â Á¡À» ³·Ãß¾î ÁÖ°í, Á¶±â¿¡ Áõ¹ßÅä·ÏÇϸç Ÿ±â±¸·Î´Â ¿î¹ÝÇϱ⠾î·Á¿î ¹°Ã¼ÀÇ ¿î¹Ý¿¡ ÀûÇÕÇϰí Ç¥¸éÀÌ ±ú²ýÇÏ¸ç ¹°Ã¼¼Ó¿¡ ±âü¸¦ Á¦°ÅÇϰí Ÿ ¹°ÁúÀ» ÅõÀÔÇϴµ¥ ¿ëÀÌÇÏ´Ù. ±×¸®°í ¾çÀÚ µî°ú °°Àº ÇÏÀüÀÔÀÚ ÁÖÀ§°ø±âºÐÀÚ Ãæµ¹ÀÌ ÀÛ¾ÆÁö¹Ç·Î ÄÜÆ®·ÑÀÌ ¿ëÀÌÇÏ´Ù.
- ±ú²ýÇÑ È¯°æ Á¦°ø: ºÒ¼ø¹°, »êȹ° Á¦°Å µî
- ÀûÀýÇÑ È¯°æ Á¦°ø: TV¸ð´ÏÅÍ, ÀÔÀÚ °¡¼Ó±â µî ÀûÁ¤ Áø°øµµ ÇÊ¿ä
- Áø°ø Ư¼º ÀÌ¿ë: Áø°øÃ»¼Ò±â, Áø°ø º¸¿Âº´ µî
5) Áø°øÆ÷Àå
¨ç ±â°è½Ä ¾ÐÂø¹ý : ¹°Ç°ÀÇ ÀûÀç ¹× ¿î¹Ý ½Ã Á¦Ç°ÀÇ ÆÄ¼ÕÀ» ¸·±â À§ÇÏ¿© ±â°è ¶Ç´Â ¼ö¾Ð¿¡ ÀÇÇÏ¿© ÆÄ¿ìÄ¡ ³»ºÎÀÇ °ø±â¸¦ °Á¦·Î ¹èÃâÇϰí Çѽà ¹ÐºÀÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
¨è Steam flush¹ý : ÅëÁ¶¸²ÀÇ Çìµå½ºÆäÀ̽º¸¦ Á¦°ÅÇϴµ¥ ¼öÁõ±â¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â ±â¼úÀ» ·¹Å丣Ʈ ÆÄ¿ìÄ¡¿¡ ÀÀ¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î, Çìµå½ºÆäÀ̽º¸¦ ¼öÁõ±â·Î ä¿ö ³ÖÀ¸¸é ¹°¹æ¿ï·Î ÀÀ°íÇÏ¿© üÀûÀÌ ÁÙ¾îµé°Ô µÇ´Âµ¥, ¼öºÐÀ» ÇÔÀ¯ÇÑ ½ÄǰÀÇÅ»±âÆ÷Àå¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
¨é Nozzle½Ä Å»±â¹ý : ÆÄ¿ìÄ¡ ³»ºÎÀÇ °ø±â¸¦ ³ëÁñ¿¡ ÀÇÇÏ¿© Å»±âÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î, ÆÄ¿ìÄ¡ÀÇ ÀÔ±¸¿¡ ³ëÁñÀ» »ðÀÔÇϰí ÁÖº¯À» ½ºÆùÁö µîÀ¸·Î ¸·Àº »óÅ¿¡¼ ³ëÁñÀ» ÅëÇÏ¿© ÆÄ¿ìÄ¡ ³»ºÎ¸¦ Å»±âÇϰí ÀÔ±¸¸¦ ºÀÇÔÇÑ´Ù. è¹ö½Ä¿¡ ºñÇÏ¿© ±¸Á¶°¡ °£´ÜÇϰí ÀåºñÀÇ Á¦ÀÛºñ°¡ Àú·ÅÇÑ ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖÁö¸¸ ³ôÀº Áø°øµµ¸¦ ¾ò±â´Â »ó´ëÀûÀ¸·Î ºÒ¸®ÇÏ´Ù.
¨ê Chamber½Ä Å»±â¹ý : è¹ö ³»ºÎ¸¦ Áø°øÆßÇÁ¿¡ ÀÇÇÏ¿© °¨¾ÐÇÏ¿© ÆÄ¿ìÄ¡¸¦ Å»±âÇϰí ÀÔ±¸¸¦ ¹ÐºÀÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ¸·Î, ¿ÜºÎ¿Í Â÷´ÜµÈ °ø°£(Áø°øÃ¨¹ö)À» ¸¸µé°í ±× ¾È¿¡ Æ÷Àå¹°À» ³ÖÀº µÚ è¹ö Àüü¸¦ Áø°øÇϰí, ±× »óÅ¿¡¼ Æ÷Àå¹°ÀÌ µé¾î ÀÖ´Â ÆÄ¿ìÄ¡ÀÇ ÀÔ±¸¸¦ ºÀÇÔÇÑ ÈÄ Ã¨¹ö¿¡ ´ë±â¸¦ ÅëÇÏ°Ô ÇÏ¿© ²¨³»´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù.
Áø°øÆ÷ÀåÀ» À§ÇÑ ±â±â·Î´Â è¹ö½Ä Áø°øÆ÷Àå±â°¡ °¡Àå Æø³Ð°Ô Ȱ¿ëµÇ´Âµ¥, è¹ö½Ä Áø°øÆ÷Àå±â´Â ´Ü½Ä°ú º¹½ÄÀ¸·Î ³ª´µ¾îÁö´Â ¹ÝÀÚµ¿½ÄÀÌ ÁÖ·ù¸¦ ÀÌ·ç¸ç, ÀÚµ¿ÈµÈ ¹æ½ÄÀ¸·Î´Â º§Æ®½Ä Áø°øÆ÷Àå±â¿Í ·ÎŸ¸® è¹ö½Ä Áø°øÆ÷Àå±â ¹× ¿¹ºñ¼ºÇü Áø°øÆ÷Àå±â µîÀÌ ÀÖ´Ù.




Áø°øÆ÷ÀåÀ̶õ?
[±×¸²1] ³ëÁñ½Ä Å»±â
[±×¸²2] è¹ö½Ä Å»±â
[±×¸²3] ³ëÁñ½Ä Áø°øÆ÷Àå±â
[±×¸²4] è¹ö½Ä Áø°øÆ÷Àå±â
